龙虎棋牌app官网版 应能微电子肯求沟槽MOSFET有关专利, 本发明甩掉套刻差错对元胞尺寸的甩掉

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6月3日音讯,国度常识产权局信息表现,江苏应能微电子股份有限公司肯求一项名为“一种沟槽式功率MOSFET偏激制备步调”的专利。肯求公布号为CN122121202A,肯求号为CN202610206231.0,肯求公布日历为2026年5月29日,肯求日历为2026年2月12日,发明东说念主李振说念、孙明光、朱伟东,专利代理机构北京中济纬天专利代理有限公司,专利代理师丁燕华,分类号H10D30/01、H10D30/60、H10D62/00、H10D62/10、H10D64/01、H10D64/27。

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专利摘抄表现,本发明公开了一种沟槽式功率MOSFET偏激制备步调,具体法子包括:S1)变成P阱区及图案化的场氧化层图形;S2)在场氧化层图形侧壁变成侧壁氮化硅;S3)以二者为掩模刻蚀沟槽并变成栅极氧化层;S4)在所述沟槽内填充导电材料,变成栅极;S5)去除侧壁氮化硅后,龙虎棋牌app官网版以场氧化层图形为掩模进行N+源区注入;S6)千里积并平坦化介电层;S7)移除场氧化层并对其下硅进行过刻蚀,变成战役窗口;S8)通过该窗口进行P+战役区注入;S9)填充金属层,完成器件制作。本发明从根底上甩掉了传统工艺中沟槽光罩与战役孔光罩之间的套刻差错对元胞尺寸的甩掉。

天眼查数据表现,江苏应能微电子股份有限公司建设日历2012年3月22日,法定代表东说念主ZHUPHILLIPWEIDONG,所属行业为量度和磨练发展,企业规模为微型,注册成本4286.5339万东说念主民币,实缴成本2089.1564万东说念主民币,注册地址为常州市天宁区创智路5号4号楼(8层、9层)。江苏应能微电子股份有限公司共对外投资了6家企业,参与招投标面容14次,财产印迹方面有商标信息7条,专利信息117条,领有行政许可11个。

江苏应能微电子股份有限公司近期专利情况如下:

序号专利称呼专利类型法律情状肯求号肯求日历公开(公告)号公开(公告)日历发明东说念主1一种低动态电阻高浪涌才调的双向瞬态电压遏制器发明专利本色审查的告成、公布CN202610461489.52026-04-09CN121985590A2026-05-05朱伟东、赵泊然2一种微型单体封装电子保护结构偏激制造步调发明专利本色审查的告成、公布CN202610352324.42026-03-23CN121925156A2026-04-24朱伟东、赵泊然3纵向SCR型瞬态过压保护器件发明专利授权CN202610313890.42026-03-16CN121888620B2026-05-26朱伟东、赵泊然4一种基于深沟槽阻止的单芯片双向低电容TVS器件偏激制造步调发明专利授权CN202610296786.92026-03-12CN121843143B2026-05-22朱伟东、赵泊然5一种沟槽式功率MOSFET偏激制备步调发明专利公布CN202610206231.02026-02-12CN122121202A2026-05-29李振说念、孙明光、朱伟东6适用中高压的沟槽式功率金氧半场效晶体管偏激制备步调发明专利公布CN202610184357.22026-02-09CN122121212A2026-05-29李振说念、孙明光、朱伟东7一种屏蔽栅沟槽功率MOSFET偏激制备步调发明专利本色审查的告成、公布CN202511876860.62025-12-12CN121728802A2026-03-24李振说念、孙明光、朱伟东8用于ESD预防的多电通顺道双向SCR器件发明专利授权CN202511309274.32025-09-15CN120812966B2025-11-18朱伟东、赵泊然9一种改善开关损耗的沟槽式MOSFET器件发明专利本色审查的告成、公布CN202510796831.22025-06-16CN120321986A2025-07-15李振说念、孙明光、朱伟东10一种沟槽式功率金氧半场效晶体管偏激制备工艺发明专利授权、本色审查的告成、公布CN202510774266.X2025-06-11CN120282541B2025-08-26李振说念、孙明光、朱伟东11用于预防雷击的压敏电阻夹层模组集成结构发明专利授权CN202510592406.12025-05-09CN120417465B2026-02-17朱伟东、赵泊然12一种ESD加固的LDMOS器件偏激制备步调发明专利授权、公布CN202411329890.02024-09-24CN118841450B2024-12-17孙明光、李振说念、朱伟东13一种自适当超结LDMOS结构发明专利授权、公布CN202411081577.X2024-08-08CN118782654B2025-04-08孙明光、李振说念、朱伟东14一种用于抗闩锁的高压ESD保护器件发明专利授权、公布CN202410982344.02024-07-22CN118522769B2024-10-01朱伟东、赵泊然15用于ESD预防的高掺杂多晶硅器件与工艺发明专利授权、公布CN202410718845.82024-06-05CN118299408B2024-08-02朱伟东、赵泊然16用于ESD预防的双模理智检测瞬态触发电路发明专利发明专利肯求公布后的驳回、本色审查的告成、公布CN202410480761.52024-04-22CN118074085A2024-05-24朱伟东、赵泊然17一种屏蔽闸沟槽式功率金属氧化物半导体制备步调及器件发明专利授权、本色审查的告成、公布CN202410239174.72024-03-04CN117832093B2024-05-10李振说念、孙明光、朱伟东18一种自适当超结沟槽式MOSFET器件偏激制备步调发明专利授权、本色审查的告成、公布CN202311401481.22023-10-26CN117133791B2024-01-26孙明光、李振说念、朱伟东19双皆纳阱SCR器件、制造工艺偏激堆叠结构发明专利授权、本色审查的告成、公布CN202311282644.X2023-10-07CN117038720B2024-01-26朱伟东、赵泊然20具有三重resurf结构的分袂栅沟槽MOS器件及工艺发明专利授权、本色审查的告成、公布CN202311083616.52023-08-28CN116799070B2023-11-17孙明光、李振说念、朱伟东21一种集成ESD保护器件的分袂栅沟槽MOS器件及工艺发明专利授权、本色审查的告成、公布CN202311076280.X2023-08-25CN116825850B2023-11-17孙明光、李振说念、朱伟东22开关电源导通时辰限制电路、步妥洽开关电源发明专利授权、本色审查的告成、公布CN202310912685.62023-07-25CN116647098B2023-10-03李征、赵泊然、朱伟东23一种超低电容双向SCR-TVS器件发明专利本色审查的告成、公布CN202310862496.22023-07-14CN116598309A2023-08-15朱伟东、赵泊然24一种垂直型双向SCR低电容TVS器件发明专利授权、本色审查的告成、公布CN202310862502.42023-07-14CN116581122B2023-09-12朱伟东、赵泊然25具有闸源端夹止结构的沟槽式功率MOSFET器件偏激制备步调发明专利授权、本色审查的告成、公布CN202310816523.22023-07-05CN116525663B2023-09-12李振说念、孙明光、朱伟东、赵泊然26一种三维超结LDMOS结构偏激制作步调发明专利发明专利肯求公布后的驳回、本色审查的告成、公布CN202310793099.42023-06-30CN116525655A2023-08-01孙明光、李振说念、朱伟东、赵泊然27加强型屏蔽闸沟槽式功率金氧半场效晶体管实用新式授权CN202321650322.12023-06-27CN220106545U2023-11-28李振说念、孙明光、朱伟东、赵泊然28电机转子角度信息识别步调发明专利发明专利肯求公布后的驳回、本色审查的告成、公布CN202310670645.52023-06-08CN116404916A2023-07-07曹元、朱伟东、吴琦29内置ESD保护二极管的SGT器件偏激制作步调发明专利授权、本色审查的告成、公布CN202310594164.02023-05-25CN116314341B2023-08-08朱伟东、赵泊然、李振说念、孙明光30一种屏蔽闸沟槽式功率金属氧化物半导体制作步调发明专利授权、本色审查的告成、公布CN202310540946.62023-05-15CN116259544B2023-08-08李振说念、孙明光、朱伟东、赵泊然31开关变换器限制电路、限制步调及电源开采发明专利授权、本色审查的告成、公布CN202310524618.72023-05-11CN116247908B2023-07-28李征、赵泊然、朱伟东32电源开采及用于电源芯片的责任格局建树电路发明专利授权、本色审查的告成、公布CN202310505858.22023-05-08CN116247933B2023-07-25李征、赵泊然、朱伟东33一种基于Resurf效应的屏蔽栅沟槽型MOSFET器件偏激制备步调发明专利发明专利肯求公布后的驳回、本色审查的告成、公布CN202310385852.62023-04-12CN116110944A2023-05-12朱伟东、赵泊然、孙明光、李振说念34一种低寄生电容焊盘发明专利发明专利肯求公布后的驳回、本色审查的告成、公布CN202310385849.42023-04-12CN116110872A2023-05-12朱伟东、赵泊然35一种栅控Resurf高压LDMOS结构发明专利授权、本色审查的告成、公布CN202310376829.02023-04-11CN116110955B2023-06-27朱伟东、赵泊然、孙明光、李振说念36一种分段式分袂栅SGTMOSFET结构发明专利授权、本色审查的告成、公布CN202310381286.12023-04-11CN116093146B2024-02-20朱伟东、赵泊然、孙明光、李振说念37具有高保管电压的低电容双向SCR瞬态遏制器件发明专利授权、本色审查的告成、公布CN202310371412.52023-04-10CN116093153B2023-07-21朱伟东、赵泊然38一种电压钳位组合器件发明专利发明专利肯求公布后的驳回、本色审查的告成、公布CN202310343608.32023-04-03CN116093912A2023-05-09朱伟东、赵泊然39碳化硅功率金属氧化物半导体场效应晶体管偏激制备步调发明专利授权、著录事项变更、本色审查的告成、公布CN202211118851.72022-09-15CN115440822B2023-08-22李振说念、孙明光40碳化硅半导体场效晶体管的栅源极保护结构及制备步调发明专利授权、著录事项变更、本色审查的告成、公布CN202211081391.52022-09-06CN115172457B2024-05-03李振说念、孙明光41具有高保管电压的瞬态电压遏制保护器件及静电放电电路发明专利专利权东说念主的姓名好像称呼、地址的变更、授权、本色审查的告成、公布CN202210098666.X2022-01-27CN114121944B2022-05-17朱伟东、赵泊然42具有高触发电流的SCR器件及静电放电电路结构发明专利专利权东说念主的姓名好像称呼、地址的变更、授权、本色审查的告成、公布CN202210098555.92022-01-27CN114121943B2022-05-17朱伟东、赵泊然43缩短正向导通电压和导通电阻的转向二极管结构实用新式专利权东说念主的姓名好像称呼、地址的变更、授权CN202220184870.92022-01-24CN216648324U2022-05-31朱伟东、赵泊然、王晓荣44一种自阻止非对称垂直型瞬态电压遏制保护器件发明专利专利权东说念主的姓名好像称呼、地址的变更、授权、本色审查的告成、公布CN202111325282.92021-11-10CN113764406B2022-03-01朱伟东、赵泊然45具有抵偿阱可控硅结构的瞬态电压遏制保护器件偏激制作步调发明专利专利权东说念主的姓名好像称呼、地址的变更、授权、本色审查的告成、公布CN202111281199.62021-11-01CN113725213B2022-03-01朱伟东、赵泊然46一种屏蔽闸沟槽式MOS管的斜氧制作步调发明专利专利权东说念主的姓名好像称呼、地址的变更、授权、本色审查的告成、公布CN202111122643.X2021-09-24CN113571421B2021-12-24李振说念、孙明光、朱伟东47具有网格状阴阳极沟槽结构的瞬态电压遏制保护器件发明专利专利权东说念主的姓名好像称呼、地址的变更、授权、本色审查的告成、公布CN202111047867.92021-09-08CN113488464B2021-12-07朱伟东、赵泊然48沟槽原位掺杂多晶硅可控硅结构的瞬态电压遏制保护器件发明专利专利权东说念主的姓名好像称呼、地址的变更、授权、本色审查的告成、公布CN202111047854.12021-09-08CN113497032B2022-01-25朱伟东、赵泊然49缩短正向导通电压和导通电阻的转向二极管结构和制造步调发明专利发明专利肯求公布后的视为撤退、本色审查的告成、公布CN202110964535.02021-08-23CN113410311A2021-09-17朱伟东、赵泊然、王晓荣50双向高压瞬态电压遏制器的结构偏激制作步调发明专利发明专利肯求公布后的驳回、本色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